HAKKO日本八光廣州代理,.,HAKKO日本八光代理
.特點(diǎn)
經(jīng)過(guò)長(zhǎng)年的實(shí)驗(yàn),利用熱解析技術(shù)設(shè)計(jì)而成的具有良好的溫度均一性的電熱板。 考慮到要在清潔環(huán)境、真空環(huán)境中使用,電熱板材料用鋁、加熱器及周邊元件用不銹鋼制成。 電熱板的表面用硬質(zhì)氧化鋁膜處理法進(jìn)行了處理,因而具有良好的耐腐蝕性和良好的耐磨損性。
應(yīng)用
CVD熱處理 晶片加熱 電子元件加熱
外形·尺寸·規(guī)格
真空用
電熱板材料 :A5052(鋁)表面進(jìn)行氧化鋁膜處理
加熱器外殼材料 :SUS321(不銹鋼)
真空密封元件材料:SUS304(不銹鋼)
最高使用溫度 :300℃
表面粗糙度 :6.3s以內(nèi)
平面度 :0.1mm以下
附屬溫度傳感器 :K型外殼 直徑3.2
漏失量 :1×10¯8Pam3/秒以下
用于真空中的圓形電熱板 (接受訂貨生產(chǎn)產(chǎn)品)
型號(hào)
商品代碼
電 壓
功 率
A尺寸
溫度均一性
重 量
HPC2107
02011515
200V
750W
180
ф160以內(nèi)
300℃時(shí) ±3℃
約3 kg
HPC2110
02011525
1KW
HPC2210
02011535
1KW
230
ф210以內(nèi)
300℃時(shí) ±3℃
約4 kg
HPC2215
02011545
1.5KW
HPC2320
02011555
2KW
330
ф310以內(nèi)
300℃時(shí) ±3℃
約6kg
HPC2330
02011565
3KW
※ 0.0001Pa真空容器內(nèi),無(wú)負(fù)荷狀態(tài)下的值。與使用條件有較大差別。
·溫度控制使用HP控制器 HMC2112(1頻道)、HMC2212(2頻道) (P210)。
·也可以制造標(biāo)準(zhǔn)尺寸規(guī)格以外的產(chǎn)品。
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